原创力文档- 3
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- 2023-08-06 发布于四川
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本实用新型涉及一种用于解决硅片背面圈印的刷洗装置，包括转轴、pp支架和背面刷，pp支架呈圆盘状，pp支架的下端中部竖直安装有转轴，转轴中空，pp支架上端安装有背面刷，背面刷包括不锈钢圆盘和聚氨酯耐磨海绵，不锈钢圆盘下端与pp支架固定，不锈钢圆盘上端安装有相配的聚氨酯耐磨海绵，聚氨酯耐磨海绵呈圆盘状，pp支架以及不锈钢圆盘内部设置有溢流通道，溢流通道一端与转轴上端的开口处相连，溢流通道另一端与聚氨酯耐磨海绵相连。本实用新型机械手吸附硅片正面，硅片背面与背面刷接触，然后缓慢通过旋转的背面刷，刷洗掉减
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210015840 U
(45)授权公告日
2020.02.04
(21)申请号 20192
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