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修整盘掉落侦测装置及研磨垫修整装置.pdfVIP

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  • 2023-08-06 发布于四川
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修整盘掉落侦测装置及研磨垫修整装置.pdf

    本实用新型提供了一种修整盘掉落侦测装置及研磨垫修整装置，修整盘掉落侦测装置包括：第一液位传感器、第一液体通道、第二液体通道以及弹性薄片；第一液体通道嵌入至固定盘中，并且其第一端口延伸至固定盘下表面，固定盘下表面用于固定修整盘；弹性薄片设置于第一端口，并封闭第一端口；第二液体通道与第一液体通道的第二端口连接，并且第二液体通道具有沿着高度方向竖直设置的竖直子通道，第一液位传感器设置于竖直子通道的内壁；当固定盘固定有修整盘时，第二液体通道中液体液面高于第一液位传感器；当修整盘从固定盘脱落时，第二液体通

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210010848 U (45)授权公告日 2020.02.04 (21)申请号 20192

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