一种应用于化学气相沉积设备的导螺杆.pdfVIP

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2023-08-07 发布于四川
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一种应用于化学气相沉积设备的导螺杆.pdf

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本实用新型提供一种应用于化学气相沉积设备的导螺杆，涉及集成电路生产设备，包括：导螺杆本体、固定件、联轴器、至少一制动螺丝和调节螺丝，所述固定件固定连接在所述导螺杆本体上，所述固定件包括至少一连接孔，所述联轴器包括至少一连接孔，所述至少一制动螺丝穿过所述联轴器上的至少一连接孔和所述固定件上的至少一连接孔，使所述联轴器与所述固定件连接，所述调节螺丝位于所述固定件与所述联轴器之间，调节所述调节螺丝使所述联轴器相对于所述固定件向上或向下移动，所述联轴器连接指针承载台固定轴，所述指针承载台固定轴与指针承针

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210030884 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20182