输送辊、输送装置及基片处理设备.pdfVIP

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2023-08-07 发布于四川
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输送辊、输送装置及基片处理设备.pdf

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本实用新型提供了用于输送基片(2)的输送辊(9,18)，在其表面(10)上设有突起部(11)。在一实施例中，沿输送辊(9,18)的纵向方向(L)一个接一个地设置有至少两个突起部(11)。在另一实施例中，突起部被实施为高出部的形式。还提供了用于基片处理设备(1)的输送装置(8)，包括至少一个所述输送辊。还提供了一种基片处理设备(1)，尤其是用于基片的单侧湿化学处理的，其包括所述输送装置和具有处理液体的处理槽(3,5)。在一实施例中，基片处理设备具有干燥部(7)，所述输送装置被设置在干燥部中。或者，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210040136 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20172