一种阵列式多炉管PECVD设备.pdfVIP

一种阵列式多炉管PECVD设备.pdf

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本实用新型公开了一种阵列式多炉管PECVD设备，包括炉体柜，炉体柜内设有多个阵列布置的炉管，包括炉门启闭装置，炉门启闭装置包括炉门、旋转驱动机构，旋转驱动机构与炉门相连，用来带动炉门绕竖直方向旋转实现炉门开启与关闭。本实用新型通过阵列式布置炉管，极大地提高了空间利用率高、使设备产能更高。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210030885 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20182

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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