电池片镀膜设备及方法.pdfVIP

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2023-08-09 发布于四川
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电池片镀膜设备及方法.pdf

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本申请涉及电池片加工技术领域，尤其是涉及一种电池片镀膜设备及电池片镀膜方法，电池片镀膜设备包括：多个工作腔，多个工作腔中包括镀膜工艺腔；镀膜组件，镀膜组件设置于镀膜工艺腔内；镀膜组件包括磁体组件和靶材；磁体组件形成有强磁区和弱磁区，强磁区的磁场强度大于弱磁区的磁场强度；靶材对应强磁区的部分具有第一溅射速率，靶材对应弱磁区的部分具有与第一溅射速率不同的第二溅射速率。本申请提供的电池片镀膜设备，对靶材溅射速率快的区域进行磁场强度降低，减少这部分区域对带电粒子的束缚，降低了该区域的溅射速率，使对应区域

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116555718 A (43)申请公布日 2023.08.08 (21)申请号 202310554264.0 (22)申请日 2023.05.16 (71)申请人广东利元亨智能装备股份有限公司地