1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种监别孔隙装置以及一种离子注入机.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约6.04千字
  • 约 6页
  • 2023-08-09 发布于四川
  • 举报

一种监别孔隙装置以及一种离子注入机.pdf

    本实用新型涉及一种监别孔隙装置，其特征在于，包括：多个监别孔隙单元，其中每个监别孔隙单元包括石墨板，在所述石墨板上设置有供离子束穿过的孔隙，其中所述多个监别孔隙单元彼此连接，使得所述多个监别孔隙单元保持在同一平面内；以及旋转组件，其用于以可转动的方式支承所述多个监别孔隙单元。通过本实用新型，可以容易地更换监别孔隙单元，以便实现连续的生产而无需频繁停机。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210040120 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20192

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >