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本发明公开了一种热分解薄膜制备装置，包括升降台和反应室，所述升降台上设喷雾模块，所述反应室内设加热模块，衬底置于该加热模块上；所述喷雾模块包括设于所述升降台上的安装底板，该安装底板上设缓冲腔，所述缓冲腔的进气口与至少一组雾化单元连通，所述缓冲腔的出气口与伸缩管连通，该伸缩管通过连接管与喷嘴连接，所述伸缩管、连接管和喷嘴伸入所述反应室内，该喷嘴位于所述衬底上方位置，所述安装底板朝向所述反应室的一侧设有向外延伸的连接支架，所述喷嘴转动连接在所述连接支架上。本装置既适合透明导电氧化物薄膜材料(单元、多
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114990522 A
(43)申请公布日 2022.09.02
(21)申请号 202210391449.X
(22)申请日 2022.04.14
(71)申请人 重庆理工大学
地址 400030
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