一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装.pdfVIP

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2023-08-09 发布于四川
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一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装.pdf

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本发明涉及一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装，属于半导体设备技术领域，包括底座，底座上设置有承托件；承托件呈竖立的筒状，承托件的上缘形成有承托面，在承托面外侧向上延伸有侧挡壁，侧挡壁围成的空间与静电卡盘组件的形状相匹配；在承托件的侧面由上至下开设有用于容纳静电卡盘组件的外接管线的管线避让槽；在承托件的相对的两侧设置有把手。本方案可提高拆装静电卡盘组件时的工作效率，解决静电卡盘组件从设备机台拆卸后存放与搬运过程中可能导致表面划伤或磕碰的问题，起到保护静电卡盘组件及其外接管线结构的作用，延长使

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116552611 A (43)申请公布日 2023.08.08 (21)申请号 202310529771.9 (22)申请日 2023.05.11 (71)申请人盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司