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本实用新型涉及一种陶瓷盘等分旋转机构，包括工作台及设置在工作台上的等分旋转组件，等分旋转组件包括升降动力件、升降台、旋转动力件及定位台，定位台固定在工作台上，定位台中心具有通孔，升降动力件与升降台连接，升降台内具有气管，升降台上表面具有气孔，气管与气孔连通，升降动力件可驱动升降台升降以穿过定位台的通孔，旋转动力件与升降台连接，旋转动力件可驱动升降台轴向旋转。该陶瓷盘等分旋转机构通过等分旋转组件与定位组件相配合，定位准确可靠，可以实现陶瓷盘等分旋转，从而可以均匀地在陶瓷盘上贴合晶圆片，保证贴片的质
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210040150 U
(45)授权公告日
2020.02.07
(21)申请号 20192
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