原创力文档- 10
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- 2023-08-09 发布于四川
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本实用新型提供一种光谱共焦位移传感器，包括光源耦合器，入射光纤，光谱共焦位移传感探头，接收光纤，光谱仪，所述光谱仪固定连接所述接收光纤的出光端，所述光谱仪带有感光元件并用于把被测物体的反射光进行色散聚焦到感光元件上且量化成光谱曲线。通过光谱共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物体表面而呈现颗粒状的散斑，克服不易确定像点的质心位置的缺陷。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210036603 U
(45)授权公告日
2020.02.07
(21)申请号 20192
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