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本发明提供了一种适用于滑动件换向移动的动力传输机构,包括滑轨组成、第一传动组件、第二传动组件以及第三传动组件。滑轨组成包括第一滑轨、第二滑轨及升降滑轨。升降滑轨能够对接第一滑轨和第二滑轨,以共同供移动台滑动。第一传动组件和第二传动组件能够配合带动移动台在加工腔室及准备腔室中转移,第三传动组件能够在移动台由第一滑轨转移至第二滑轨或由第二滑轨转移至第一滑轨的过程中,带动升降滑轨上升并与第一滑轨和第二滑轨对接。本发明提供的适用于滑动件换向移动的动力传输机构有效的为密封门的密封提供足够的空间,避免升降滑
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116553094 A
(43)申请公布日 2023.08.08
(21)申请号 202310769683.6
(22)申请日 2023.06.28
(71)申请人 天津力矩自动化科技有限公司
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