用于碳化硅半导体的研磨进料装置.pdfVIP

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  • 2023-08-09 发布于四川
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本申请公开了一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置,传送带安装座上安装有贯穿安装架的传送带,传送带安装座上设有驱动传送带运动的传送带驱动电机,安装座上端安装有电源箱,安装架上安装有与电源箱电连接的主动辊驱动电机,主动辊驱动电机上安装有主动辊,安装架上安装有从动辊安装座,从动辊安装座转动安装有从动辊,从动辊与主动辊之间传动连接有研磨带,传送带安装座上且位于安装架内安装有研磨辊安装座,研磨辊安装座上且位于主动辊的两侧安装有一对相对于主动辊中心线对称的第一转轴,第一转轴外周均安装有研磨辊,研磨辊位于传送带

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210022254 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20192

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