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本发明提供了一种压力控制闭环系统,包括设置在壳套内的旋转轴承,旋转轴承内穿设有贴装旋转轴,贴装旋转轴的一端与驱动机构驱动连接,贴装旋转轴的另一端设置有贴装吸头;贴装旋转轴与驱动机构之间还设置有力响应跟随机构,力响应跟随机构包括与贴装旋转轴连接的力传感器,所述力传感器的另一端与传感器连接件的一端连接,传感器连接件通过力跟随机构与旋转主动件连接。本发明提供了一种具有高响应性力跟随功能的压力控制闭环系统。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111857198 A
(43)申请公布日 2020.10.30
(21)申请号 202010758003.7
(22)申请日 2020.07.31
(71)申请人 苏州猎奇智能设备有限公司
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