反应容器组件及氮化镓晶体生产系统.pdfVIP

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2023-08-10 发布于四川
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反应容器组件及氮化镓晶体生产系统.pdf

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本实用新型涉及一种反应容器组件及氮化镓晶体生产系统。该反应容器组件用于生长氮化镓晶体，反应容器组件包括反应容器、外部密封容器和输送管道，反应容器设置于外部密封容器的内部，外部密封容器和反应容器之间填充用于传递压力的介质，使外部密封容器内的压强与反应容器内的压强的差值小于反应容器内的压强与标准大气压的差值，输送管道的一端用于连接至氨供应源，另一端贯穿外部密封容器而与反应容器可拆卸地连接，使得氨供应源中的氨能够被输送至反应容器的内部。本实用新型的反应容器组件能够避免搬运反应容器，进而简化氮化镓晶体的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210048880 U (45)授权公告日 2020.02.11 (21)申请号 20192