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本实用新型提供一种传输装置，包括传送带，该传送带(1)的承载面(11)包括衬底承载区(111)和围绕在衬底承载区(111)四周的薄膜承载区(112)；传输装置还包括柔性支撑层(2)和抽真空机构，柔性支撑层(2)设置在薄膜承载区(112)上，且在柔性支撑层(2)中分布多个通孔；在薄膜承载区(112)和衬底承载区(111)中均分布有多个抽真空孔，抽真空机构用于经由薄膜承载区(112)中的抽真空孔和柔性支撑层(2)中的通孔吸附薄膜(32)超出衬底(31)边缘的部分(32a)，及经由衬底承载区(111)
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210052725 U
(45)授权公告日
2020.02.11
(21)申请号 20192
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