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阵列反射式显微图像采集系统.pdfVIP

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  • 2023-08-10 发布于四川
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阵列反射式显微图像采集系统.pdf

    本实用新型公开了一种阵列反射式显微图像采集系统，包括显微摄像模组阵列和接收端，所述显微摄像模组阵列位于样品台的正上方；所述显微摄像模组阵列包括成阵列分布的多个显微摄像模块，每一所述显微摄像模块皆包括第一透镜组、反射式照明结构、激发光源、第二透镜组和图像传感器，所述第一透镜组和所述第二透镜组对称设置，所述图像传感器与所述接收端电性连接，所述激发光源位于所述反射式照明结构的一侧，所述激发光源发出的光源照射于所述反射式照明结构上。本实用新型能够同时采集样品的多个区域，提高检测速度，适用于测试硅片、半导

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210053476 U (45)授权公告日 2020.02.11 (21)申请号 20192

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