SJ_T 11636-2016电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定 自动电位滴定法.pdf

ICS 31.030L90SJ备案号：中华人民共和国电子行业标准SJ/T11636—2016电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定•自动电位滴定法Determination of tetramethylammonium hydroxide in electronic industry withthe developerAutomatic potentionmetric titration method2016-09-01实施2016-04-05发布发布中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T11636—2016前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则编写。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。本标准起草单位：杭州格林达化学有限公司，工业和信息化部电子工业标准化研究院，本标准主要起草人：尹云舰、王香、陈玉英、周利超、叶青、裴会川。1 SJ/T11636—2016电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定自动电位滴定法1范围本标准规定了用自动电位滴定法测定电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵含量的方法。本标准适用于电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵含量的测定。2规范性引用文件NDAOR下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引仅注日期的版本适用于本文件。TION凡是