平板显示用彩色光刻胶测试方法 第1部分_ 理化性能-编制说明.pdfVIP

平板显示用彩色光刻胶测试方法 第1部分_ 理化性能-编制说明.pdf

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一.工作简况 1. 任务来源 根据国家标准化管理委员会 2021 年第二批推荐性国家标准计划,国家标准《平板显示 用彩色光刻胶测试方法 第1部分:理化性能》(计划编号T-469)由全国半导 体设备和材料标准化技术委员会 (SAC/TC203)负责归口,由北京鼎材科技有限公司组织起 草。 2. 主要工作过程 2019年11月,全国半导体设备和材料标准化技术委员会 (SAC/TC203)年会组织审议 了 《平板显示用彩色光刻胶测试方法第1部分 理化性能》国标立项汇报材料。 2020年12月,经国家标准化管理委员会批准立项。 2021年1月至11月,成立标准编制组,制定了工作计划和方案。 2021年12月,进入标准起草阶段,形成标准草案 ( 工作组讨论稿)。 2022年 1月6 日,由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 (SAC/TC 203)组织通 来自固安鼎材科技有限公司、合肥鼎材科技有限公司、 过网络召开了标准的视频起草讨论会。 北京欣奕华科技有限公司、彤程新材料集团股份有限公司等单位的专家代表参会。 彤程新材料集团股份有限公司是我国最主要的两家光刻 其中北京欣奕华科技有限公司、 胶生产厂家,2021年两家光刻胶产品合并占据国产化份额90%以上。参会专家对标准草案规 定的范围、规范性引用文件、术语与定义、一般要求、测试方法、精密度、质量保证与控制、 实验报告8部分展开讨论。 其中测试方法项目合理性进行讨论,并对测试设备、环境条件、固含量测试条件(溶剂、 温度和时间)、粘度计扭矩、粘度单位等逐一分析探讨,对细节部分需要继续完善、数据验 证分工完成形成一致意见。由主编单位进行修改完善。 2022年10月,主编单体、参编单位完成测试项方法数据验证。 2022年12月,编制组依据启动会讨论意见以及实验验证结果修改标准文本,形成征求 意见稿。 1 … 3. 标准编制的主要成员单位及其所做的工作 标准起草单位、起草人及承担工作内容见表 1。 表1 标准起草单位、起草人及承担工作内容 序号 起草单位 起草人 工作内容 1 北京鼎材科技有限公司 桑伟 主要起草单位,组织编制单位,负责测 刘永祥 试项目的确定、方法试验研究,标准草 孙涛 案的起草,组织完成方法验证试验和数 任雪艳 据统计分析,标准的起草、编写以及修 改意见的整理和文本修改等工作。 2 工业和信息化部电子第 曹可慰 参编单位,组织编制单位,落实测试项 四研究院 吴怡然 目的确定、数据统计分析、方法验证试 验等工作。 3 北京欣奕华科技有限公 参编单位,负责测试项目的确定、数据 司 统计分析、方法验证试验等工作。 4 彤程新材料集团股份有 参编单位,负责测试项目的确定、数据 限公司 统计分析、方法验证试验等工作。 二. 标准编制原则和确定主要内容的论据及解决的主要问题 1. 编制原则 本标准按照 GB/T1.1-2020 《标准化工作导则 第 1 部分:标准化文件的结构和起草规 则》进行编写。 本标准的测试项目以及方法制定以归纳国内主要彩色光刻胶研究成果为基础,这些成果 已经在国

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