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一种光罩盒.pdfVIP

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  • 2023-08-12 发布于四川
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一种光罩盒.pdf

    本实用新型涉及一种光罩盒，包括底盒、上盖和固定夹。该底盒和上盖通过固定夹扣住底盒边缘使之形成闭合的容纳晶圆的容置空间，所述固定夹对称安装于上盖边缘的中间位置，固定夹中部对称有两个沉头孔，两个沉头孔的位置装有限位柱，限位柱上套接复位弹簧，所述上盖内表面对称装有数个缓冲套件，缓冲套件包括缓冲柱、橡胶套和T字型的防滑套，缓冲套件与放于盒内的晶圆上表面接触，橡胶套有一通孔，橡胶套上端部分与缓冲柱固定插接，T字型防滑套插入橡胶套的下端。本实用新型提供的光罩盒具有改良的缓冲套件和固定夹的复位弹簧的限位柱的设

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210063763 U (45)授权公告日 2020.02.14 (21)申请号 20192

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