一种用于镓-镍合金靶制备的电镀装置及方法.pdfVIP

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2023-08-12 发布于四川
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一种用于镓-镍合金靶制备的电镀装置及方法.pdf

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本发明公开了一种用于镓‑镍合金靶制备的电镀装置及方法。本发明装置包括电镀槽；搅拌单元，包括伺服电机、电机传动轴、导电滑环和同轴器，导电滑环包括导电滑环本体和导电滑环内轴，导电滑环本体上设阳极导线和阴极导线；阳极单元，包括横向固定阳极的阳极固定板和阳极托板连接轴，阳极与阳极导线连接，阳极固定板在阳极托板连接轴带动下横向可旋转地安装在电镀槽内；阴极单元，包括横向固定有阴极靶件的阴极靶托和靶电极导杆，阴极靶件与阴极导线连接，阴极靶托包括阴极靶托本体，阴极靶托本体在靶电极导杆带动下横向可旋转地安装在电镀

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116575097 A (43)申请公布日 2023.08.11 (21)申请号 202310427680.4 (22)申请日 2023.04.20 (71)申请人中国科学院近代物