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本发明提供一种分段式流场控制的非接触晶圆边缘清洗装置，晶圆承载平台的边缘圆周上布设多个空气动力组件，使晶圆处于悬浮状态，具有导流槽，喷流和固定槽，喷流管组件固定在固定槽，导流槽环绕固定槽，下压导流盖与导流槽、喷流管组件之间的间隙形成第一气流通道，从喷流管组件喷出的气流沿第一气流通道向晶圆的边缘部分喷出，导流槽的底部设置多个气流孔，从气流孔喷出的气流对从喷流管组件喷出的气流补强。非接触夹持晶圆不易损坏晶圆，有利于维持晶圆性能和品质，气流增强后防止清洗脏污进入晶圆的下表面，并改善晶圆边缘和承载平台边
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116581076 A
(43)申请公布日 2023.08.11
(21)申请号 202310315566.2
(22)申请日 2023.03.28
(71)申请人 江苏启微半导体设
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