一种出光波长可调的垂直腔面发射激光器.pdfVIP

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2023-08-13 发布于四川
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一种出光波长可调的垂直腔面发射激光器.pdf

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本实用新型提供一种出光波长可调的垂直腔面发射激光器，包括衬底基板，衬底基板底面形成有VCSEL阴极层，衬底基板表面顺序形成有高反射率的下DBR层、有源区域、氧化限制层和高反射率的上DBR层，氧化限制层和上DBR层之间设置有液晶盒层，液晶盒层包括顺序层叠的液晶阳极、液晶盒和液晶阴极，液晶阳极形成在氧化限制层表面，液晶盒包括相对配置的下取向层和上取向层及设置在上下取向层边缘的封框胶，液晶盒体内灌注有液晶和散布有隔离球，液晶阴极形成在上取向层表面并与上DBR层底面接触。本申请通过改变液晶阳极和液晶阴极

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210074421 U (45)授权公告日 2020.02.14 (21)申请号 20192