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原子层沉积涂布设备.pdfVIP

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  • 2023-08-15 发布于四川
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原子层沉积涂布设备.pdf

    本实用新型揭露一种原子层沉积涂布设备，主要包括有一固定框架、至少一气体供应模组、一移载模组、复数个加热抽气箱，以及一控制模组；藉此，本实用新型的原子层沉积涂布设备主要藉由移载模组与加热抽气箱的硬体设计，涂布作业可分区加热，有效提供原子层沉积的软性基板的良好定位控制与最佳化的环境温度管理，以利于软性基板的化学沉积反应的高温作业，确实维持基板特性不变质、提升传送基板的平稳性与精准度，以及提供良好区段式的反应区域加热作业等主要优势。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210104074 U (45)授权公告日 2020.02.21 (21)申请号 20192

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