光电器件.pdfVIP

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  • 2023-08-15 发布于四川
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一种光电器件。所述器件包括:多层光学活性叠层;输入波导,其被布置为将光引导到所述叠层中;输出波导,其被布置为将光引导出所述叠层;以及抗反射涂层,其位于所述输入波导和所述叠层以及所述叠层和所述输出波导之间;其中所述输入波导和所述输出波导由氮化硅形成。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210109379 U (45)授权公告日 2020.02.21 (21)申请号 20192

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