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- 2023-08-15 发布于四川
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本实用新型涉及一种电子气体尾气的回收装置，包括吸收塔，脱轻塔、脱重塔、预处理塔、吸收剂回收塔，一级冷阱和二级冷阱。将电子气体尾气送入吸收塔下部，吸收剂由塔顶进入，塔顶采出轻杂质，塔底物料作为原料输送至脱轻塔；脱轻塔塔顶采出轻组分，塔釜一部分作为吸收剂返回吸收塔顶部，一部分作为原料输送至脱重塔；脱重塔塔顶采出电子气体产品，塔釜物料进入吸收剂回收塔；吸收塔顶部气体先进入预处理塔脱除部分重组分，预处理塔塔顶采出稀有气体依次进人一级冷阱、二级冷阱，冷凝液返回预处理塔，未经冷凝的气体即为高纯度的稀有气体；
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210097322 U
(45)授权公告日
2020.02.21
(21)申请号 20192
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