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- 2023-08-16 发布于四川
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本发明涉及一种用于分子束外延腔体中的磷回收单元、系统及回收方法，其中用于分子束外延腔体中的磷回收单元包括：磷回收模块，磷回收模块内部形成磷回收腔体，磷回收腔体连接有第一通道，第一通道用于连接MBE系统腔体，第一通道上设置有第一隔离元件；磷回收腔体内设有冷阱和真空水雾喷淋模块；真空泵，通过第二通道连接到磷回收腔体。本发明中磷凝结在冷阱的表面后通过真空水雾喷淋模块，使得磷材料外面包覆一层冰，以达到隔绝空气的作用。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116588907 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202310880689.0
(22)申请日 2023.07.18
(71)申请人 苏州焜原光电有限公司
地址 21
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