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本发明公开了一种大幅提高设备稼动率的晶圆传送方法，基于晶圆传送系统，所述系统包括：晶圆传送装置；以及手臂，设置于晶圆传送装置和外部晶圆制程腔室之间；所述方法包括以下步骤：手臂在其中一组承载组件上取放晶圆时，根据实际需求手臂在第一晶圆定位栓和承载平台之间所形成的取放空间按照需求角度将晶圆抬起高于第二晶圆定位栓后，直接按照对应方向移动。在本发明中，平台支架两端具有一定水平距离，手臂的取放空间为第一晶圆定位栓和承载平台之间所形成，从而使得手臂可以有更广的角度从晶圆传送装置上顺利取放晶圆，实现从晶圆传送
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116598239 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202310811482.8
(22)申请日 2023.07.04
(71)申请人 成都海威华芯科技有限公司
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