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一种绝对式六自由度位姿传感器,其中,平行光入射模块穿过第一分光棱镜的第一束光照射在一维光栅,产生不同级的三束衍射光又分别经过第一分光棱镜照射在四自由度探测模组上,得到所探测目标的四自由度绝对位姿变化;平行光由第一分光棱镜所分的第二束光进入第二分光棱镜后又分为两束光,其中一束光依次经过Y方向角锥棱镜的两个斜面反射后由Y方向探测器检测所探测目标在Y方向的平移,其中另一束光进入第三分光棱镜后又分为两束,其中一束依次经过X方向角锥棱镜的两个斜面反射后由X方向探测器检测所探测目标在X方向的平移。本发明能够
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116592771 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202310555020.4
(22)申请日 2023.05.17
(71)申请人 清华大学深圳国际研究生院
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