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本发明公开了一种扫描电子显微镜样品防撞系统及方法，包括：激光束发射模块、CCD探测模块、信号处理系统、运动控制反馈系统和控制中心。其中所述激光束发射模块安装于样品腔室的侧壁上，用于发射一激光束，所述激光束可以是一扫描式激光束或一字线激光束；所述CCD探测模块安装于与所述激光束发射模块相对的侧壁上，用于对穿过样品室的激光束进行探测，产生探测信号；所述信号处理系统对CCD探测模块的探测信号进行处理，用于判断样品是否超过激光束限位高度；所述运动控制反馈系统根据所述信号处理系统的结果做出判断，控制样品台
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116593511 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202310204891.1
(22)申请日 2023.06.19
(71)申请人 华研芯测半导体（苏州）有限公司
地
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