具有质量平移运动的加速度计.pdfVIP

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2023-08-16 发布于四川
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具有质量平移运动的加速度计.pdf

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提供了一种微机电系统(MEMS)加速度计，包括：设置在由第一轴和垂直于第一轴的第二轴限定的平面中的基板；第一检验质量块和第二检验质量块，耦合到所述基板并且被配置为沿着垂直于所述第一轴和所述第二轴的第三轴在彼此相反的方向上平移；以及至少一个杆，将所述第一检验质量块耦合到所述第二检验质量块，其中所述MEMS加速度计被配置为经由检测所述第一和第二检验质量块沿着所述第三轴的平移来检测沿着所述第一轴和所述第二轴的加速度；并且所述MEMS加速度计表现出围绕所述第一轴和所述第二轴的对称性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116601500 A (43)申请公布日 2023.08.15 (21)申请号 202180085137.X (74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所