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本实用新型属于石墨烯晶体管制造领域，具体公开了一种石墨烯异质结基底转移装置，包括一个密闭的转移室，所述转移室包括刻蚀室和储藏室；所述刻蚀室与所述储藏室水平相邻设置；所述刻蚀室与所述储藏室相邻壁上开设有连通所述刻蚀室和所述储藏室的第一通孔；所述刻蚀室盛放用于刻蚀所述第一基底的第一溶液和/或用于稀释所述第一溶液的第二溶液；所述储藏室存放第二基底，所述第二基底从所述储藏室通过所述第一通孔进入所述刻蚀室，用于在所述第一基底被刻蚀后与所述石墨烯异质结贴合。本实用新型能够克服现有技术中石墨烯异质结原基底的剥
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210110726 U
(45)授权公告日
2020.02.21
(21)申请号 20192
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