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用在基板的光固化装置.pdfVIP

用在基板的光固化装置.pdf

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    本发明公开一种用在基板的光固化装置，包含一腔体、一支撑盘及一光源组件。所述光源组件配置成能在所述腔体中沿着至少一方向往复移动，使所述光源组件在所述基板的表面上形成的明暗区域随着所述光源组件的移动一起变化。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116586270 A (43)申请公布日 2023.08.15 (21)申请号 202211701991.7 (22)申请日 2022.12.28 (71)申请人 拓荆科技股份有限公司 地址 11

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