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本发明是对基板进行规定的处理的基板处理装置，其中，所述装置包含以下要素：设计信息存储部，存储了三维设计信息；拍摄部，拍摄包含所述对象部件的实际图像；匹配处理部，对于所述拍摄部拍摄的所述实际图像中的作为二维形状的实际图像形状与基于所述对象部件的三维设计信息的二维设计形状，基于特征点的一致程度，判定哪个所述对象部件与所述实际图像形状匹配；以及异常检测部，通过将基于匹配的所述对象部件的所述实际图像的现实信息与基于当所述对象部件正常时的三维设计信息的正常信息相比较，来检测所述对象部件的异常。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116598225 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202310114074.7
(22)申请日 2023.02.14
(30)优先权数据
2022-020358 202
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