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本发明公开了一种基于双刃边扫描的高精度波前检测方法及装置。本方法的关键点之一在于引入了双刃边的扫描结构，该结构包括一个固定刃边和一个扫描刃边，通过记录两刃边之间距离随扫描步数的变化，解决了光源指向性不稳定的问题，通过定位刃边提高了检测的空间分辨率，同时也提高了光束横向位移量的定位精度；本方法的关键点之二在于引入了激光干涉仪来检测扫描过程中两刃边之间距离的变化，利用激光干涉仪测量的数据可以对有无待测样品情况下的扫描位置进行修正，从而可以准确的去除入射参考波前缺陷的影响，同时也解决了待测样品引起光束
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116593129 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202310493238.1
(22)申请日 2023.05.05
(71)申请人 中国科学院高能物理研究所
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