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本发明公开压力自适应控制的IC分选设备及其控制方法，针对分选设备机械运动过程中复杂情况和压力实时监测需求，在下压的末端增加压力传感器实现压力的在线实时监测。浮动对位的测试头结构配合末端缓冲技术可实现精确的定位，采用电子式自动调压阀技术可有效的控制膜片气缸压力。根据不同工况、不同芯片应用场合下的压力自适应控制策略，实现压力的精确控制。本发明的IC分选设备增加了压力缓冲与测压功能，实现了压力实时监控与调节，性能参数能满足工程应用的要求。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116586328 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202310673100.X
(22)申请日 2023.06.08
(71)申请人 福建工程学院
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