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制备防炫光玻璃的蚀刻系统.pdfVIP

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  • 2023-08-17 发布于四川
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制备防炫光玻璃的蚀刻系统.pdf

    一种制备防炫光玻璃的蚀刻系统，所述蚀刻系统内呈真空状态，所述蚀刻系统包括：第一电源；电极装置，设置于玻璃基板的一侧以驱动等离子撞击于玻璃基板上；供气源，用以与电极装置相连通以提供气体原子；所述电极装置形成有容纳腔且包括：阳极板和阴极板，均平行设置与玻璃基板的一侧且阳极板更靠近玻璃基板设置，所述阳极板和阴极板分别与第一电源的正极和负极电性连接以提供电子；所述阳极板上开设有连通容纳腔的出口以让等离子通过，所述阴极板上开设有连通容纳腔和供气源的入口；第一磁板和第二磁板，磁极相反且连接于阳极板和阴极板之

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210123717 U (45)授权公告日 2020.03.03 (21)申请号 20192

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