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- 2023-08-17 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于晶圆目检的扩晶环承载装置，所述扩晶环中固定有载有晶圆的薄膜，所述扩晶环承载装置为两层平台层叠而成的双层结构，上层平台为直径略小于所述扩晶环内径而高度略大于所述扩晶环高度的圆柱体，下层平台的水平方向最大尺寸大于所述扩晶环内径，下层平台内部形成有一腔体，所述腔体通过设置于下层平台侧壁上的至少一个抽气孔与外部连通，所述上层平台中设置有多个自上表面向下贯通至所述腔体的排气孔。本实用新型可有效解决目检过程中产品容易移动，薄膜易破损以及失焦问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210115259 U
(45)授权公告日
2020.02.28
(21)申请号 20192
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