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- 2023-08-17 发布于四川
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本实用新型提供一种基板表面清洗装置及清洗设备，包括：吸附装置和气流清洁装置，其中，所述吸附装置包括：用于吸附基板的吸附板和转动结构，所述转动结构与所述吸附板连接，所述转动结构用于使所述吸附板翻转，所述气流清洁装置与所述吸附装置对应设置，当所述基板被所述吸附板吸附并通过所述转动结构翻转至水平向下时，所述气流清洁装置沿着所述吸附板移动，并吹出气流至所述基板，所述气流流动的方向与所述基板的表面之间非垂直，本实用新型提供的基板表面清洗装置和清洗设备，将基板翻转后在进行清洁，避免了异物在清洁时对基板表面造
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210121596 U
(45)授权公告日
2020.03.03
(21)申请号 20192
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