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一种用于基板处理的喷淋装置以及一种基板处理设备.pdfVIP

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  • 2023-08-17 发布于四川
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一种用于基板处理的喷淋装置以及一种基板处理设备.pdf

    一种用于基板处理的喷淋装置以及一种基板处理设备，其中喷淋装置包括：溶液分配单元，各所述溶液分配单元分别对应于所述基板的不同位置，所述溶液分配单元向待处理基板上喷淋处理溶液，不同位置的所述溶液分配单元之间互不连通；流量控制单元，设于所述溶液分配单元上控制所述溶液分配单元的喷液流量；沿所述基板高度降低方向各所述溶液分配单元的预设喷液流量减小。通过调节与基板不同位置处的喷液流量，弥补由于基板表面刻蚀液流速不一致导致的刻蚀速率差异，克服积水效应，使得基板的刻蚀效果均匀。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210117422 U (45)授权公告日 2020.02.28 (21)申请号 20192

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