CIGS制备用强化隔离膜及制备装置.pdfVIP

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2023-08-18 发布于四川
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CIGS制备用强化隔离膜及制备装置.pdf

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本实用新型提供一种CIGS制备用强化隔离膜制备装置，以柔性有机材料为基材，经该制备装置一次性制成的成膜，具有较好的服帖性能；它包括在一个真空镀膜腔内的多个磁控溅射装置，各磁控溅射装置包括以氩气作为工作气体、以氧气为反应气体的沉积阴极室、位于沉积阴极室内的阴极靶材；磁控溅射装置分为用于对柔性有机基材下表面磁控溅射镀膜的下镀膜磁控溅射装置和用于对柔性有机基材上表面磁控溅射镀膜的上镀膜磁控溅射装置；在真空镀膜腔内还设置有用于对连续移动的柔性有机基材进行冷却的冷鼓；本实用新型还提供一种CIGS制备用强化

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210127266 U (45)授权公告日 2020.03.06 (21)申请号 20192