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本实用新型涉及晶圆收纳装置技术领域，具体为一种用于显影机的晶圆收纳装置，包括晶圆本体，晶圆本体的底部外侧设置有收纳装置，收纳装置包括固定座，固定座的一侧设置有左护座，固定座的另一侧设置有右护座，固定座的顶端外侧对称设置有卡座，卡座的内侧连接有限位板，左护座的顶端两侧设有凸块，凸块的顶端外侧设有圆环，圆环的内侧开设有若干第一齿槽。本实用新型通过将晶圆放置在固定座和左右护座围起来的空间内，使其稳固放置，避免受损受污染；通过向外拉动卡座，再转动左右护座调整其角度，使其适配大小尺寸的晶圆，避免占用空间。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210129098 U
(45)授权公告日
2020.03.06
(21)申请号 20192
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