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本实用新型涉及电浆机技术领域，具体为一种半导体电浆机，包括电浆机本体，电浆机本体上设有蚀刻仓，电浆机本体的上表面设有真空泵，真空泵的输出端上设有抽气管，蚀刻仓上设有仓门，蚀刻仓内设有中空密封垫，中空密封垫的前表面设有矩形槽，仓门的后表面设有矩形塞。该半导体电浆机，仓门关闭后，利用转轴转动挡块，使得限位柱从弧形槽的一端滑入弧形槽的另一端，限位柱将仓门扣压在蚀刻仓的开口位置，以此实现仓门的关闭，同时，矩形塞通过矩形槽与中空密封垫插接配合，提高仓门与蚀刻仓连接处的密封效果，防止空气中的氧化气体进入蚀刻
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210129490 U
(45)授权公告日
2020.03.06
(21)申请号 20192
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