供应管路和刻蚀设备.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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本实用新型公开了一种供应管路和刻蚀设备，供应管路包括：主管路，主管路上具有第一进口与多个第一出口，多个第一出口沿主管路的长度方向间隔分布；多个支管，每个支管上具有多个第二进口和多个第二出口，多个第二进口沿支管的长度方向间隔分布，多个第二出口沿支管的长度方向间隔分布；多个第一连接管，支管上的每个第二进口分别通过一个第一连接管与对应的第一出口连通。在供应管路中，主管路中的液体通过多个第二进口进入支管中，支管中不同位置的压力相近，从多个第二出口流出的液体压力相近，可以使从支管的第二出口流出的液体更均匀

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219552831 U (45)授权公告日 2023.08.18 (21)申请号 202223308200.2 (22)申请日 2022.12.09 (73)专利权人京东方科技集团股份有限公司地址