一种晶圆外观缺陷检测配方程序制作方法、设备及系统.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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一种晶圆外观缺陷检测配方程序制作方法、设备及系统.pdf

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本发明涉及晶圆外观检测配方制作技术领域，具体地说，涉及一种晶圆外观缺陷检测配方程序制作方法、设备及系统，所述方法具体包括以下步骤，步骤S1：上片并确认晶圆信息；步骤S2：设定晶圆角度校正以用于将晶圆放平；步骤S3：晶圆偏移量校正以用于将晶圆中心与运动平台保持一致；步骤S4：设定晶粒分布图，将理论的分布图与实际分布图进行位置上的匹配；步骤S5：确定检测元素，任一选一个晶粒分布图中的区域作为检测元素，并依次规划选择剩余区域以确定多个检测元素；步骤S6：依次采集检测元素照片；步骤S7：检测训练以形成晶

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116609352 A (43)申请公布日 2023.08.18 (21)申请号 202310563579.1 (22)申请日 2023.05.18 (71)申请人宁波九纵智能科技有限公司地址