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托盘组件和硅片移动装置.pdfVIP

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  • 2023-08-19 发布于四川
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托盘组件和硅片移动装置.pdf

    本实用新型涉及一种托盘组件和硅片移动装置，所述托盘组件包括环形托盘、升降件和中心托盘，环形托盘具有沿第一方向贯穿环形托盘的第一通道，升降件穿设在环形托盘上，升降件的一部分配合在第一通道内，中心托盘与升降件的一端相连，中心托盘在升降件的驱动下可在第一位置和第二位置之间移动，在第一位置，中心托盘嵌设在第一通道内，在第二位置，中心托盘远离第一通道且与环形托盘脱离。本实用新型实施例的托盘组件通过环形托盘和中心托盘共同承载硅片，并设置升降件驱动中心托盘以使中心托盘能够脱离环形托盘，在中心托盘脱离环形托盘时

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219553607 U (45)授权公告日 2023.08.18 (21)申请号 202223587340.8 (22)申请日 2022.12.28 (73)专利权人 浙江求是半导体

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