基于PSD的法布里珀罗标准具微位移测量系统的线性度比对装置和方法.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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基于PSD的法布里珀罗标准具微位移测量系统的线性度比对装置和方法.pdf

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本发明公开了基于PSD的法布里珀罗标准具微位移测量系统的线性度比对装置和方法。本发明中支架一端固定在光学平台上，标准圆锥光束系统放置在其上方；面阵器件布置在标准圆锥光束系统前且处于同一光轴中用于干涉成像；激光器、扩束镜、聚焦透镜处在同一光轴中，激光光束在悬臂梁上发生反射后由PSD接收，应力加载系统改变应力F的大小。用标准圆锥光束系统和PSD计算相应的位移量，通过对二者线性度曲线的比较完成F‑P标准具微位移测量系统的线性度比对。本发明具有检测精度高，可以同步完成两个方法的测量，适用于高准确度微位移

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109000567 A (43)申请公布日 2018.12.14 (21)申请号 20181