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本实用新型为一种真空气动阀，包括气动阀组件及真空阀本体，气动阀组件的锥形伸缩头上套设至少两道中心环，真空阀本体具有三通部及锥形底座，气体可依序经由三通部的第一道法兰口、伸缩道、通口流至锥形底座的锥形出流道、第二道法兰口而流出。该锥形出流道呈渐缩状，且其顶部最宽处的宽度不小于通口的宽度，粉尘等杂质不会堆积在交界位置上，而会顺着的导引流出，且通过该至少两道中心环，即便其中一道中心环失效，仍可确保该真空气动阀的气密性。因此，本实用新型有效改进现有技术遭遇的问题，借以提供一种可以有效维持气密性的真空气动
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219549620 U
(45)授权公告日 2023.08.18
(21)申请号 202320544625.9 F16K 31/12 (2006.01)
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