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2023-08-19 发布于四川
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本申请公开了一种光学检测系统，该系统包括：用于放置待检测晶圆的载物台；光源输入通，光源输入通道中设有激光光源以及光束整形镜组，光束整形镜组用于对激光光源的光线进行扩束处理以及匀光处理；缺陷检测通道，缺陷检测通道靠近载物台的一端设有显微物镜，缺陷检测通道的另一端设有成像检测设备；光源输入通道与缺陷检测通道的连通位置处设有二向色镜，二向色镜用于将激光光源的光线反射至显微物镜，并且用于透过待检测晶圆的受激辐射光线；成像检测设备用于接收受激辐射光线以生成检测图像。本申请提供的方案，能够在满足对晶圆进行光

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116609351 A (43)申请公布日 2023.08.18 (21)申请号 202310544836.7 (22)申请日 2023.05.15 (71)申请人苏州高视半导体技术有限公司地址