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本申请涉及一种单晶炉中的炉盖结构，涉及单晶生产设备技术领域。该炉盖结构包括炉盖本体和能够与加料法兰环相连接的隔离阀，隔离阀设于炉盖本体上并与炉盖本体内部相连通，炉盖结构还包括设置在炉盖本体一侧的加料法兰环放置装置和设置在隔离阀处的加料法兰环安装检测装置，加料法兰环放置装置包括放置架和能够检测加料法兰环是否位于放置架中的位置传感器；加料法兰环安装检测装置固设于炉盖本体上且用于检测加料法兰环在隔离阀上是否安装到位。本申请中的炉盖结构既方便放置加料法兰环，又能够有效避免因加料法兰环的放置失误而引发事故
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219547149 U
(45)授权公告日 2023.08.18
(21)申请号 202320660221.6
(22)申请日 2023.03.29
(73)专利权人 北京北方华创真空技术有限公司
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